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820 系列气体质量流量仪

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产品特点:


直接质量流量监测,无需压力和温度传 感
数字质量流量显示(显示板可远程安 装)
质量流量电信号输出(可用于控制,数据记录)
快速的响应能力(2 秒)
大而直的传感器管道减少了污染和维 修停用期
铂传感器消除了零漂,确保长期稳定
基本标准标定确保了起始点准确性和
NIST 可追踪性
CE 认证
获中华人民共和国计量器具批准证书(CPA)

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操作规格 气体:
大多数气体;检查与仪表材料的兼容性;订货时具体指出。
质量流量:
0~10sccm 到 0~50slpm;指定的流量范围是 76 厘米 汞柱、21ºC(70ºF)下的氮气对应流量范围;用其他单位表示的流
量范围也可提供( 即 : scfh  或 nm3/hr)。
气体压力:
150psig(10barg)最大;20psig(1.4barg)最佳。
气体&环境温度:
32ºF 到 122ºF(0ºC 到 50ºC)。
防渗漏功能:
最大为 1×10-4  atm cc/sec(氦气)。

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性能规格
精度:
±1.5 满度,在 15ºC~25℃及 5 到 60psia(0.3 到 4bara)范围内。 如果流量计是通过垂直流量通路安装的,
则准确度为下所示:


                             操作压力


入口压力差   50psig         100psig        150psig
±1psig       ±1.5%满度   ±1.5%满度     ±1.5%满度
±5psig       ±3.8%满度   ±4.5%满度     ±5.3%满度
±10psig     ±6%满度      ±7.5%满度     ±9%满度

 

重复性:
±0.5%满度。
温度系数:
0.08%满度每 ºF(0.15%满度每 ºC),或更好。
压力系数:
0.01%满度每 psi(0.15 满度每 bar),或更好。
响应时间:
时间常数 800 毫秒;6 秒到最终值的±2%以内(满 度的 25%到 100%)。